Product laser
产品中心兼容性好,同时支持石英、硼硅、钠钙、铝硅等多种不同玻璃材质
可根据需求在基板上实现圆孔、方孔、埋孔、通孔以及微槽等多形态工艺
优异的深孔特性,径深比高达1:50,最小孔径≤10µm
良好的孔质量,侧壁光滑、无裂痕、无批锋
优异的产能
良好的定位及重复精度
基板尺寸 | 4~12寸圆形或方形片、G3.5,G4.5,G6 |
通孔形状 | 圆孔、方孔、埋孔、通孔、 微槽 |
最小孔径 | 10µm |
径深比 | 通常1:10,部分材料或厚度可达1:50 |
平台精度 | 重复定位精度≤ ±1µm;定位精度<±3µm |
设备产能 | ≥5000 points/s |